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室圧控制機器

差压传送器［PLT系列］

差压传送器［PLT系列］

高精度测量从100Pa到20KPa的微差压（譬如大气压和室压的差），转换成电流信号（4～20mA）进行传送。在传感器内，选用了温度特性出色的半导体压力传感器，稳定性很好

控制电动机［EEP系列］

控制电动机［EEP系列］

定位电动机是接收控制信号，按照信号进行相应定位的比例型控制电动机。同时，也能与室压控制器组合实行连动。外壳是由铝压铸而成牢固。而且电动机驱动使用无接点继电，实现了长寿命。

定位电动机[CMP]

定位电动机[CMP]

定位电动机是接收控制信号，按照信号进行相应定位的比例型控制电动机。同时，也能与室压控制器组合实行连动。外壳是由铝压铸而成牢固。而且电动机驱动使用无接点继电，实现了长寿命。

电空控制器［PEC-50］

电空控制器［PEC-50］

电空控制器将压力转换器和调节计机能合为一体的，电动式控制器，把压力传感器部、控制器部和电动机部一体化构成压力控制器。

室压控制器［PEC-X］

室压控制器［PEC-X］

室压控制器［PEC-X］适合于无尘室的室间差压控制，认识到室间差压控制（特别是微差压控制）的重要性和方便性，用途正在广泛地扩大。

室压控制器[PEC-S]

室压控制器[PEC-S]

室压控制器是用于控制洁净室的室间差压的装置。PEC-S是保持以前的PEC-X保有的功能，把马达和控制器完结成一体 且功能及构造简单而特点。

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